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影響光柵尺測(cè)量精度的因素:
A:光學(xué)部分 B:機(jī)械部分 C:電氣部分 D:使用中的安裝與傳輸接收部分
,使用后的精度下降,機(jī)械部分自身的偏差。A
、光學(xué)部分對(duì)精度的影響:
光柵玻璃—主要的是母尺精度
、每毫米刻線數(shù)、刻線精度、刻線寬度一致性等。
光發(fā)射源—光的平行與一致性、光衰減
。
光接收單元—讀取誤差
、讀取響應(yīng)。
光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響—污染
,衰減。
B、機(jī)械部分對(duì)精度的影響:
安裝精度
。軸承的精度與結(jié)構(gòu)精度。光學(xué)組建安裝的精度。
C
電源的穩(wěn)定精度—對(duì)光發(fā)射源與接收單元的影響
讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來的誤差
電氣噪音影響
D
輸出電纜的抗干擾與信號(hào)延遲(較長(zhǎng)距離或較快頻率下)
接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
光柵尺高速位移時(shí)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)偏差
*常見的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結(jié)果帶來的偏差
綜上所述,光柵尺的分辨率和精度其實(shí)是兩個(gè)完全不同的概念
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